万业企业入股高精密3D量测设备生产商埃米仪器

       2025年1月8日，南京埃米仪器科技有限公司发生工商变更，新增上海万业企业股份有限公司等为股东。

　　埃米仪器致力于国内精密3D量测设备的国产化，攻克核心技术。资料显示，目前公司持续推出多款量测设备，成功研发的国内首台在线工业级原子力显微镜（AFM）已在国内领先的12英寸芯片制造企业交付，对推动国内先进工艺的发展，提高芯片制造良率，缩短制程研发周期具有重要意义。

　　随着3D NAND、HBM、混合键合、先进封装等高密度3D集成的技术发展，AFM的高精度、纳米级测量能力是其中开发和监控的关键工艺技术，在这些应用中是不可或缺的核心需求设备。